沙伯基础创新塑料公司日前推出超纯透明Stat-Loy63000CT系列复合材料。这种复合材料可用于晶圆防护设备，防止因释气所造成的毁损及由此导致晶片污染、废料增加和成本提高等问题。
  
　　 随着元器件的日益精细化，塑料释气污染的影响日益明显。由于容器可用材料匮乏，使新一代芯片制造工艺所需的氩氟激光技术难有用武之地。为此，沙伯基础创新塑料率先开发出这种超纯透明复合材料，以克服元件小型化过程中的障碍。该成果有助于利用氩氟激光技术制造出45纳米或更小的精密电路。
   
　　超纯透明复合材料是一种超洁净、透明、永久性防静电材料，可实现挥发性有机污染物超低析出，以及低水平可滤取离子释放。此外，该材料还具有优异的着色性能，是光罩和晶片防护设备、芯片盒、光罩盒及处理盒的极佳备选材料。

来源：中国化工信息网